웨이퍼 처리 자동화 플랫폼 및 이를 이용하는 웨이퍼 코팅 방법 (Wafer processing automation platform and method for wafer coating using the same)

Authors

옥종걸, 김용태, 이준석

Country

KR

Application# (Date)

10-2025-0053510 (Apr 24, 2025)

Registration# (Date)

10-2998629 (Jul 28, 2026)

Category

Patents

Link

https://doi.org/10.8080/1020250053510